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2023年3月22日,北京大学化学与分子工程学院彭海琳教授课题组在《自然》(Nature)期刊上发表题为“2D fin field-effect transistors integrated with epitaxial high-κ gate oxide”的研究论文。
Y 掺杂Al2O3高k栅介质薄膜的制备及性能研究
2007/7/28
专著信息
书名
Y 掺杂Al2O3高k栅介质薄膜的制备及性能研究
语种
中文
撰写或编译
作者
郭得峰,耿为刚,兰伟,黄春明,王印月
第一作者单位
出版社
物理学报 54(12)371-376(2005)
出版地
出版日期
2005年
月
日
标准书号
介质类型
页数
字数
开本
相关项目
超低介电常数纳米多孔薄膜材料的制备和特性研究